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| 装置形式 |
1H-1
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1H-2
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2H-4
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1H-1S
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1H2S
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| 炉数 |
1
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1
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2
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1
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2
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| 炉毎の加熱帯の数 |
6
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6
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6
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4
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4
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| コーティングチャンバーの数 |
1
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2
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4
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1
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2
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| コーティングチャンバーの有効作業寸法 |
ø
360×900mm
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ø
250×500mm
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| コーティング温度 |
750〜1050℃
(コーティング形式により異なる)
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| 蒸着速度 |
3μm/h
(コーティング形式により異なる)
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| 単層もしくは多層形式 |
TiC,TiC+TiCN+TiN
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| 電力供給 |
220V 50/60Hz/cps
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| 電力消費量 |
50Kw
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55Kw
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120Kw
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30Kw
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35Kw
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| 設備に要する敷地 |
6×6m
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8×6m
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14×6m
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7×5m
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7×5m
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| クレーンに要する高さ |
5.4m
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5.4m
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5.4m
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4m
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4m
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